Система рентгеновского 3D-контроля MirXT-160
Описание
MirXT-160 — это передовая система 3D-рентгеновского контроля, разработанная для применения в области микросхемной технологии, SMT, контроля корпусов полупроводников и лабораторных применений. 3D-контроль полупроводниковых микросхем, таких как BGA, CSP, Flip-чипы, EDS и т.д., а так же анализ поверхностного монтажа, 3D-томография и комьютерная томография (планарная компьютерная томография + конусно-лучевая компьтерная томография).
Система отлично справляется с обнаружением пустот припоя/олова и проблем с соединительными проводами, которые обычно встречаются в процессах поверхностного монтажа и производства полупроводников в электронной промышленности. Эффективно выявляет дефекты корпусов, такие как смещения, перекрестные замыкания проводов, проблемы с шариками припоя перевернутого кристалла, обрывы проводов и отсоединения.
Функции и особенности:— Модульная конструкция, настраиваемая пользователем система. и навигационной карты рентгеновского изображения. — Специально разработанный модуль OVHM, детектор может вращаться на 360 градусов по горизонтали и наклоняться на 70 градусов. — Сверхбыстрые, высокочеткие КТ-изображения. автоматического обнаружения, функцией 5-осевой интерполяции, визуальным обнаружением ЧПУ и неограниченным редактированием точек. профессиональная конфигурация, функции технологии улучшения изображения HDR. |
![]() |
Технические характеристики:
Системное увеличение и разрешение |
|
Геометрическое увеличение |
2100 раз |
Общее увеличение |
>23000 раз |
Подробное разрешение |
До 0,35 мкм |
Субмикронная рентгеновская трубка |
Открытая микронная трубка, головка передающей трубки, угол излучения 170 °, функция коллимации |
Максимальное напряжение трубки |
160 КВ |
Максимальная мощность |
20 Вт |
Цель |
Нетоксичная вольфрамовая мишень-носитель, которую можно вращать для многократного использования |
Вакуумная система |
Безмасляный низковакуумный насос + турбомолекулярный вакуумный насос |
Детектор |
1536*1536 пикселей |
Платформа управления |
Рентгеновская автоматическая навигационная система, может осуществлять внутреннюю и внешнюю навигацию |
Общая структура |
Высокоточный антивибрационный 5-осевой синхронный привод |
Максимальная дальность обнаружения |
410мм×410мм |
Максимальный размер/вес заготовки |
510мм×510мм/5кг |
Варащающийся зонд треугольного обзора |
Регулируемый угол обзора 70°, n×360° |
Управление |
Управление джойстиком или мышью (ручной режим), Управление программированием ЧПУ (автоматический режим) |
Вспомогательные функции |
Навигационная карта рентгеновского изображения, функция перемещения по щелчку, функция увеличения по щелчку, функция автоматического поддержания центра зрения, позиционирование и наведение лазера |
Система предотвращения столкновений |
Защита столкновения испытуемого образца с лучевой трубкой. |
Программное обеспечение для обработки изображений |
|
ELT x/act base |
Комплексное программное обеспечение для анализа рентгеновских изображений включает в себя повышение контрастности изображения и фильтрацию, измерение, программирование ЧПУ |
BGA-режим |
Функция автоматического обнаружения паяного соединения BGA |
VC-режим |
Автоматический расчет соотношения площади пустот, включая функцию обнаружения пустот при монтаже нескольких чипов |
Габариты системы |
1650 мм*1680 мм*1955 мм (без консоли и съемного заднего удлинителя) |
Регулируемая высота консоли |
320 мм |
Максимальный вес |
Около 3050 кг |
Радиационная безопасность |
Защитная комната с защитной конструкцией из свинцовой стали и окнами из свинцового стекла в соответствии с немецкими и американскими стандартами безопасности для рентгеновского оборудования. |
Мощность дозы утечки радиации |
<1,0 млн Зв/ч, в соответствии с международным стандартом |
Аппаратные опции |
|
Механизм наклона/поворота |
Наклон на 70° и вращение n × 360* с максимальным весом заготовки 5 кг |
Лазерное устройство для размещения |
Перекрестный лазерный провод |
Квадратная невращающаяся платформа |
Зона тестирования 510 мм x 510 мм |